首先廢氣經(jīng)均流板過(guò)濾棉進(jìn)入設備時(shí)，由設備高壓穩定高頻放電，瞬間產(chǎn)生1.5萬(wàn)伏特至2萬(wàn)伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長(cháng)鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學(xué)鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為第一階段凈化。

其次，隨廢氣進(jìn)入設備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應進(jìn)程。整個(gè)反應干凈，能量利用率高，凈化效率非常高。

等離子功能段可以激發(fā)污染物能量，促使長(cháng)鏈、多鏈污染物分子的分子鍵斷裂重組，使難處理的污染物降解為較易處理的低碳污染物。

從等離子體反應過(guò)程可以看出，電子先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產(chǎn)物和熱。

另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類(lèi)負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應中起著(zhù)重要的作用。